一、按激光输出方式分类
1、连续激光加工设备:连续激光加工设备的特点是工作物质的激励和相应的激光输出可以在一段较长的时间范围内持续进行,连续光源激励的固体激光器和连续电激励的气体激光器及半导体激光器均属此类,如光纤激光切割机和CO2气体激光切割机。
激光器连续运转过程中器件会产生过热效应,需采取适当的冷却措施。
2、脉冲激光加工设备:脉冲激光加工设备可以分为单次脉冲激光加工设备和重复脉冲激光加工设备
(1)单次脉冲激光加工设备:单次脉冲激光加工设备中,激光器工作物质的激励和激光发射从时间上来说是一个单次脉冲过程。某些固体激光器、液体激光器及气体激光器均可以采用此方式运转,此时器件的热效应可以忽略,故某些设备可以不采取冷却措施。
典型的单次脉冲激光加工设备有激光打孔机、珠宝首饰焊接机等。
(2)重复脉冲激光加工设备:重复脉冲激光加工设备中,激光器输出一系列的重复激光脉冲。激光器可相应以重复脉冲的方式激励,或以连续方式激励但以一定方式调制激光振荡过程,以获得重复脉冲激光输出,此时通常要求对器件采取有效的冷却措施。
重复脉冲激光加工设备种类很多,典型的重复脉冲激光加工设备有固体激光焊接机、固体及气体打标机等。
二、按激光器类型分类
按照激光器类型分类,激光加工设备可以分为固体激光加工设备和气体激光加工设备。
如氙灯泵浦 YAG激光切割机、光纤激光切割机等属于固体激光加工设备,射频CO.切割机,
玻璃管CO2切割机等属于气体激光加工设备。
三、按加工功能分类
按照加工功能分类,激光加工设备可以分为激光宏观加工设备、激光微加工设备、激光微纳制造设备三大类。
四、按激光输出波长范围分类
根据输出激光波长范围之不同,可将激光器区分为以下几种。
1、远红外激光器:指输出激光波长范围处于远红外光谱区(25~1000um)的激光器,
NH3分子远红外激光器(281um)、长波段自由电子激光器是其典型代表。
2、中红外激光器:指输出激光波长范围处于中红外光谱区(2.5~25um)的激光器,CO2分子气体激光器(10.6um)、CO2分子气体激光器(5~6um)是其典型代表。
3、近红外激光器:指输出激光波长范围处于近红外光谱区(0.75~2.5um)的激光器,掺钕固体激光器(1.06um)、CaAs半导体二极管激光器(约0.8um)是其典型代表。
4、可见光激光器:指输出激光波长范围处可见光光谱区(0.4~0.7m或4000~7000A)的激光器,红宝石激光器(6943 A)、氦氖激光器(6328A)、氩离子激光器(4880 A,5145A)、氪离子激光器(4762A,5208A,5682A,6471A)以及某些可调谐染料激光器等是其典型代表。
5、近紫外激光器:输出激光波长范围处于近紫外光谱区(0.2~0.4um或2000~4000A)的激光器,氮分子激光器(3371A)、氟化氙(XeF)准分子激光器(3511A,3531A)、氟化氪(KrF)准分子激光器(2490 A)以及某些可调谐染料激光器等是其典型代表。
6、真空紫外激光器:指输出激光波长范围处于真空紫外光谱区(50~2000A)的激光器,氢(H)分子激光器(1644~1098A)、氙(Xe)准分子激光器(1730 A)等是其典型代表。
7、X射线激光器:指输出激光波长范围处于 X射线谱区(0.01~50A)的激光器,目前仍处于探索阶段。
五、按激光传输方式分类
按照激光传输方式分类,激光加工设备可以分为硬光路激光加工设备和软光路激光加工设备。
硬光路是指激光器产生的激光通过各类镜片传输到、作用在工件上,适用于各类峰值功率要求较高的加工设备,但由于其光路是固定的,结构比较笨重,光路控制不灵活,不利于工装夹具的放置。
软光路是指激光器产生的激光通过光纤作为传输介质作用在工件上,光纤传输的光斑功率密度均匀,输出端体积小,适用于各类自动线生产中,但传输的功率较小。